14 Октября 2019 г. Нечетная неделя

Научно-исследовательская лаборатория нано- и микросистемной техники

600

Руководитель лаборатории

Пятышев Евгений Нилович

Описание

Направления работы

Разработки микроэлектромеханических систем (МЭМС) для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов.
Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС.
Методы автоматизированного проектирования МЭМС
Разработки специализированных технологий для МЭМС.
Освоение, создание и отработка технологий применения “не традиционных” для МЭМС материалов.
 

Основные исследования, эксперименты и разработки

Микроячейки для атомных часов;
Микромеханические устройства с гребенчатым приводом
(микрозеркала, датчики микрогироскопов и акселерометров);
Кремниевые датчики давления для аэродинамических и биомедицинских применений;
Тепловой микропреобразователь для вторичного эталона переменного напряжения,
Многофункциональные тепловые преобразователи микрорасходомер, инклинометр, вакуумметр;
ВЧ МЭМС переключатели;
Инерциальные микровыключатели

Основные партнеры

ВНИИМ им. Менделеева
ОАО «Российский институт радионавигации и времени»
ФГУП ФНПЦ «ПО «Старт» им. М.В.Проценко»