- Телефон+7(812)550-03-72
- Эл. почтаpen.mems@gmail.com
Описание
Направления работы
Разработки микроэлектромеханических систем (МЭМС) для биомедицинских применений, промышленной и экспериментальной аэрогидродинамики, теплотехники и теплоэнергетики, вакуумных, инерциальных приборов.
Математическое моделирование механических, тепловых, электрофизических процессов в разрабатываемых МЭМС.
Методы автоматизированного проектирования МЭМС
Разработки специализированных технологий для МЭМС.
Освоение, создание и отработка технологий применения “не традиционных” для МЭМС материалов.
Основные исследования, эксперименты и разработки
Микроячейки для атомных часов;
Микромеханические устройства с гребенчатым приводом
(микрозеркала, датчики микрогироскопов и акселерометров);
Кремниевые датчики давления для аэродинамических и биомедицинских применений;
Тепловой микропреобразователь для вторичного эталона переменного напряжения,
Многофункциональные тепловые преобразователи микрорасходомер, инклинометр, вакуумметр;
ВЧ МЭМС переключатели;
Инерциальные микровыключатели
Основные партнеры
ВНИИМ им. Менделеева
ОАО «Российский институт радионавигации и времени»
ФГУП ФНПЦ «ПО «Старт» им. М.В.Проценко»