Научно-исследовательская лаборатория «Микроскопия и микроанализ»

1000

Руководитель лаборатории

Описание

Научно-исследовательская лаборатория была создана в 2007 году на базе кафедры "Технология материалов электронной техники" (сегодня – "Физико-химия и технология микросистемной техники"), Институт металлургии, машиностроения и транспорта.

Лаборатория создана для проведения научно-исследовательских работ в области исследований происхождения и состава поверхности различных материалов (металлов, полупроводников, порошковых материалов и т.д.) методами растровой электронной (РЭМ) и зондовой микроскопии, а также исследования качественного и количественного химического состава веществ с помощью микрорентгеноспектрального химического анализа (РМСХА).





Направления деятельности лаборатории

  • Гранулометрический анализ порошков различных веществ (металлических, диэлектрических и др.);
  • Фрактографический анализ изломов сталей и сплавов;
  • Металлографический анализ сталей и сплавов;
  • Исследование качественного и количественного состава различных материалов методом микрорентгеноспектрального анализа (стали, сплавы, различные композитные материалы);
  • Исследование шероховатости поверхности различных материалов методом сканирующей зондовой микроскопии;
  • Исследование морфологии различных объектов (пленки, порошки, биологические объекты, полимерные материалы) методами растровой электронной микроскопии.


Ключевые проекты лаборатории

  • Исследование состава и микроструктуры конденсаторных и резисторных (в том числе пленочных) структур методами растровой электронной микроскопии и микрорентгеноспектрального химического анализа;
  • Контроль поверхности микроэлектромеханических устройств методом растровой электронной микроскопии;
  • Проведение исследований МИС на GaAs методом растровой электронной микроскопии;
  • Исследования фазового, химического состава и микростурктуры тугоплавких композиционных керамических материалов и исходных порошков;
  • Грант РНФ № 15-13-00045 «Формирование беспористых покрытий из нанокомпозиционных материалов типа «износостойкая матрица – наночатицы дисульфида молибдена (вольфпама)», обладающие низким коэффициентом трения, методом осаждения из газовой фазы.


Оборудование лаборатории

Растровый электронный микроскоп Supra 40 VP, Karl Zeiss (Германия)

Микроскоп снабжен системой компьютерного контроля сканирования электронным пучком и цифровой регистрацией сигналов и изображения, рентгеноспектральный микроанализатором INCA WAVE и INCA X-MAX. 

Рентгеноспектральный микроанализатор INCA WAVE (Oxford Instrument, Англия)

  • Качественный и количественный анализ состава материала в микрообъеме порядка 1-3 мкм на все элементы таблицы Менделеева, начиная с бора;
  • Предел обнаружения для элементов, начиная с натрия, составляет порядка 0,01 масс.%, для легких элементов порядка процента;
  • Определение состав тонких пленок с толщиной от 50 нм;
  • Получение профилей (распределения) элементов в многослойных структурах по сколу образца;
  • Получение распределения элементов по поверхности неоднородных по составу образцов;
  • Исследуемые материалы: диэлектрики, полупроводники и структуры на их основе, металлы и сплавы, геологические объекты.

Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп Solver P47-Pro, NT-MDT

Атомно-силовой микроскоп SOLVER P47-PRO является универсальном средством для исследований свойств поверхности с высоким разрешением на воздухе. Конструкция прибора позволяет реализовывать различные методики сканирующей туннельной микроскопии; контактной атомно-силовой микроскопии (метод постоянной силы, метод латеральных сил, метод постоянной высоты и др.); резонансной атомно-силовой микроскопии (полуконтактная и бесконтактная); АСМ спектроскопии (силовая, токовая, апертурная, фазовая и др.); а также магнито-силовой микроскопии. Кроме того, прибор оснащен собственной системой виброизоляции для получение сверх-высокого разрешения без дополнительной виброзащиты (вплоть до атомарного).


Ключевые партнеры: