– Мы разработали чувствительный слой на основе оксида никеля (NiO) – оксидного полупроводника с высокой химической стабильностью и перспективного для детектирования восстановительных газов. Благодаря специальной технологии магнетронного напыления и последующей химико-термической обработки нам удалось достичь высокой чувствительности материала», — рассказал Techinsider Илья Лаздин, лаборант-исследователь Высшей инженерно-физической школы Института электроники и телекоммуникаций СПбПУ.
Как отмечают специалисты, такой подход увеличивает чувствительность сенсора и уменьшает энергопотребление, а используемый оксид никеля, модифицированный металлическими наночастицами, значительно продлевает срок службы датчика.