СПбПУ запатентовал способ получения гидрофобных слоев нанометровой толщины с углом смачивания не менее 130°

Учёные СПбПУ — заведующий НИЛ «Технологии материалов и изделий электронной техники», к. т. н. Артём Осипов и младший научный сотрудник лаборатории Екатерина Ендиярова — разработали уникальный способ получения гидрофобных слоёв. Учёные создают покрытие из фторуглеродосодержащего газа в нанометровом масштабе методом, минимизирующим разрушение материала подложки.

Существующие аналоги способов нанесения гидрофобных покрытий занимают больше времени и могут повлечь за собой разрушение подложек.

Прототипом предложенного решения является способ изготовления подложек с нанесённым гидрофобным слоем, включающий этап воздействия на подложку плазменного тлеющего разряда в присутствии газообразного фторуглерода. Отличие метода, предложенного учёными СПбПУ, в том, что во время процесса осуществляется задача и контроль температуры подложкодержателя, за счёт чего можно нивелировать разрушение подложки.

Давление в реакционной камере при проведении процесса поддерживается на уровне от 0,7 до 5 Па, температура подложкодержателя — 20 °С, расход газа — в диапазоне от 5 до 20 см³/мин, напряжение смещения на подложкодержателе — от −10 до −15 В, мощность, поглощаемая в разряде, — в диапазоне от 250 до 1250 Вт. Получаемое в предложенном способе гидрофобное фторуглеродное покрытие обеспечивает угол смачивания поверхности не менее 130°.

Ещё одно достоинство изобретения — сокращение времени нанесения покрытия: минимально возможное время осаждения гидрофобных слоёв нанометровой толщины в данном способе составляет 30 секунд и выбирается в зависимости от материала подложки и желаемой толщины получаемого гидрофобного слоя.

Новости по теме